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Neues AFM System mit Tip-Scanning-Technologie

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Alphacen 300 von Nanosurf

Nanosurf hat sich in den letzten Jahren die Markführerschaft im Bereich kundenspezifisch entwickelter AFM Systeme erarbeitet. Ihr Customizing Team hat sich durch diese Projekte eine unvergleichliche Wissensbasis in der Konzeption und Entwicklung solcher Stage-Systeme für verschiedene Industriekunden angeeignet. Jetzt haben sie ihre  Erfahrungen konsolidiert und ein Standardprodukt entwickelt, welches die Bedürfnisse von Kunden erfüllt, die bisher auf kundenspezifische Lösungen angewiesen waren:

Alphacen 300 ist das einzige AFM System mit Tip-Scanning-Technologie, das 300 mm Wafer und schwere Proben bis zu 45 kg vollumfänglich messen kann. Jeder Punkt auf einer Fläche von 300 mm x 300 mm kann gezielt angesteuert werden. Diesen Funktionalitätsumfang gibt es nur mit der Nanosurf Alphacen 300 AFM Stage.

Schwere Proben aus Glas

Für Proben bis 200 mm gibt es Angebote an AFM Systemen im Markt. Typischerweise sind diese Systeme speziell für die Analyse von Rauigkeiten und Strukturgrössen von Halbleiterwafer entwickelt. Speziell Systeme bei denen die Probe gescannt wird sind nicht geeignet für schwerere Proben.

Alphacen 300 füllt diese Lücke – mit einem maximalen Probengewicht von 45 kg und einer 300 mm XY Sample Stage.

Proben dieser Art begegnet man häufig in der high-tech optischen Industrie, z.B. bei der Produktion von großen Objekten aus Glas. Bis heute musste für solche übergroßen Proben ein maßgeschneidertes System entwickelt und gebaut werden, was den Nachteil von langen Lieferzeiten und hohen Kosten mit sich zog.

Hohe Stabilität über die gesamte Probenfläche

Durch entkoppelte X/Y-Achsen und Luftlager wird eine optimale Stabilität des Probenhalters über den gesamten Verstellbereich erreicht.

Große Proben

Die Alphacen 300 kann jeden Punkt auf einer 300 mm x 300 mm x 50 mm großen Probe messen. Beim Design wurde darauf Wert gelegt, dass Modifikationen des Verfahrweges ohne grundsätzliche Designänderungen vorgenommen werden können und somit Anpassungen an individuelle Kundenbedürfnisse möglich sind.

 

Weitere Informationen finden Sie unter: www.nanosurf.com/alphacen

Ihr Ansprechpartner bei Nanosurf: Dr. Marcus Weth:  +49 6103 202 7163

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