Netzwerk NanoCarbon

Internationales Netzwerk
zur Entwicklung von Nanokohlenstoffprodukten

Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS

Als Forschungseinrichtung der Fraunhofer Gesellschaft beschäftigt sich das Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS seit 2003 mit mikro-elektronischen und mikromechanischen Sensoren und Aktoren, sowohl für photonische als auch sonstige Anwendungen. Darüber hinaus werden auch komplette Systemlösungen entwickelt, die auf diesen Bauelementen basieren. Zusätzlich zählen drahtlose Mikrosysteme zum Entwicklungsportfolio des Instituts. Seit 2013 ist das Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien (CNT) ein weiteres Geschäftsfeld des Fraunhofer IPMS. In enger Anbindung an die Hersteller am Standort Dresden Nord forschen die Wissenschaftler unter anderem an Themen wie die Weiterentwicklung und Charakterisierung von Materialien und Analysemethoden oder die Verbesserung  von Prozessmethoden. Durch die lokale Nähe zu den Fertigungslinien der Partner und das vorhandene Know-how können viele Synergieeffekte genutzt werden. Im Folgenden sind die Geschäftsfelder des Instituts kurz dargestellt:

Das Geschäftsfeld Center Nanoelectronic Technologies beschäftigt sich mit der Herstellung von Bauelementen und der Bereitstellung von Technologien auf hauptsächlich 300 mm Wafern. Ziel ist es, neue innovative Funktionalitäten vorzugsweise als System on Chip in bestehende CMOS-Plattformen zu integrieren. Ein Schwerpunkt bildet u.a. die Entwicklung nichtflüchtiger Speicher mit Fokus auf der Herstellung ferroelektrischer Speicher auf Basis CMOS-kompatibler Materialien. Einen weiteren Schwerpunkt bilden Arbeiten auf dem Gebiet Powermanagement mit dem Ziel, energieautarke Chipsysteme zu entwickeln. Hierzu wird beispielsweise die Energiespeicherung in hochkapazitiven Elementen und Mikrolithiumbatterien erforscht. Darüber hinaus sind ständig neuartige Materialien, Materialkombinationen und Materialkomposite (wie z.B. Graphen, binäre 2D-Materialien, CNTs, …) für die Anwendung in z.B. Sensoren oder Harvestern Gegenstand von Forschung und Entwicklung.

 


Standort:
Maria-Reiche-Str. 2
01109 Dresden


Quicklink:
www.ipms.fraunhofer.de

Blick in den Reinraum des Fraunhofer IPMS-CNT für Forschung und Entwicklung auf 300mm CMOS Basis.